半导体特气
电子特气中的 VMB 阀门分配箱与 VMP 阀门分配盘的介绍
VMB(Valve Manifold Box)和 VMP(Valve Manifold Panel)主要在安全性、应用气体和结构等方面有所区别。VMB 通常为密闭箱体、带吹扫与应急排风,适用于剧毒/高危害特气;VMP 为面板式,适用于一般特气分配。
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